陈鲁，男，1977年生，毕业于中国科学技术大学少年班，物理学专业学士学位；美国布朗大学物理学专业，博士研究生学位。2003年11月至2005年10月，任Rudolph Technologies(现创新科技)系统科学家；2005年11月至2010年2月，任科磊半导体资深科学家；2010年3月至2016年8月，任中科院微电子所研究员、博士生导师；2014年12月至2017年5月，任公司董事兼总经理；2017年5月至2022年10月，任公司董事长兼总经理；2022年10月至今，任公司董事长。

　　深圳中科飞测科技股份有限公司 董事会秘书 古凯男 先生

　　古凯男，男，1993年生，毕业于英国帝国理工学院光学与光子学专业，硕士研究生学历。2017年5月至2020年12月，任公司总经理助理；2020年12月至今，任公司董事会秘书。

　　深圳中科飞测科技股份有限公司 财务总监 周凡女 女士

　　周凡女，女，1985年生，毕业于对外经济贸易大学会计学专业，本科学历，中国注册会计师(非执业会员)。2007年8月至2020年8月，历任普华永道中天会计师事务所(特殊普通合伙)北京分所经理、高级经理；2020年8月至2020年12月，任公司财务副总裁；2020年12月至今，任公司财务总监兼董事。

　　国泰君安证券股份有限公司 投资银行部高级执行董事、保荐代表人 田方军 先生

　　田方军，男，硕士研究生，曾负责或参与晶晨股份科创板IPO、华虹半导体科创板IPO、赛微微电科创板IPO、圣泉集团主板IPO等IPO项目、北京君正非公开发行等项目，具有丰富的投资银行经验。

　　国泰君安证券股份有限公司 投资银行部助理董事 刘宇檠 先生

　　刘宇檠，男，硕士研究生，曾负责或参与赛微微电科创板IPO、华虹半导体科创板IPO、雷尔伟创业板IPO等IPO项目、步步高非公开发行项目、动力源配股等项目，具有丰富的投资银行经验。