美国国籍，中国永久居留权，公司创始人。中国科学技术大学学士，加州大学洛杉矶分校博士。曾就职于英特尔公司中心技术开发部担任工艺工程师，曾就职于美国科林公司，历任研发部资深工程师、研发部资深经理，曾就职于美国应用材料公司，历任等离子体刻蚀设备产品总部首席技术官、总公司副总裁及等离子体刻蚀事业群总经理、亚洲总部首席技术官，现任中微公司董事长及总经理。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司 副总经理、财务负责人 陈伟文 先生

　　中国香港籍，厦门大学学士、美国阿拉巴马大学硕士。曾任普华永道会计师事务所审计师，可口可乐公司总部财务分析师，霍尼韦尔国际总部资深内审员及中国区飞机引擎分部财务总监，耶路全球中国国际运输财务总监，海王星辰连锁药店集团财务总监兼副总经理，盛大科技财务总监，阿特斯太阳能集团副总经理兼财务总监，2012年至今，担任中微公司副总经理兼财务负责人。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司 董事会秘书 刘晓宇 先生

　　中国国籍，浙江大学学士、复旦大学-BI挪威商学院工商管理硕士。曾担任中芯国际集成电路制造（上海）有限公司战略市场部分析师，中微公司市场部经理、市场部资深经理、市场部总监、公共关系部资深总监、董事会办公室执行总监。现任中微公司董事会秘书。

　　海通证券股份有限公司 总裁助理、投资银行部总经理、保荐代表人 姜诚君 先生

　　1995年开始从事投资银行业务，为首批注册登记的保荐代表人。曾主持宁夏赛马IPO、龙元建设IPO、浔兴拉链IPO、利达光电IPO、云南西仪IPO、中原特钢IPO、回天胶业IPO、高盟新材IPO、闽发铝业IPO、太平鸟IPO、莱钢股份配股、大众科创增发、泰豪科技增发、民生银行定向发行、厦门国贸增发等项目，具有丰富的投资银行执业经历。

　　海通证券股份有限公司 投行部执行董事、保荐代表人 吴志君 先生

　　2009年加入海通证券，曾负责或参与四川金石东方新材料设备股份有限公司、上海复星医药（集团）股份有限公司、江苏中天科技股份有限公司、宁波均胜电子股份有限公司、齐峰新材料股份有限公司、哈尔滨电气集团佳木斯电机股份有限公司、上海实业发展股份有限公司等IPO、再融资保荐承销及重大资产重组项目等。