中微半导体设备(上海)股份有限公司(简称“中微公司”)是一家以中国为基地、面向全球的高端半导体微观加工设备公司,是我国集成电路设备行业的领先企业,是由一大批在全球半导体设备产业长期耕耘,做出突出贡献的研发、工程技术、销售和营运专家创立和参与的科创企业。
中微公司面向世界科技前沿,聚焦用于集成电路、LED芯片等微观器件领域的等离子体刻蚀设备、深硅刻蚀设备和MOCVD设备等关键设备的研发、生产和销售。中微公司的等离子体刻蚀设备已应用于国际先进的14纳米、7纳米和5纳米生产线。公司自主研发的MOCVD设备已被多家领先LED生产厂家使用和认可。
中微公司的创始人、董事长及总经理尹志尧博士在半导体芯片和设备产业有35年行业经验,是国际等离子体刻蚀技术发展和产业化的重要推动者。尹志尧博士是89项美国专利和200多项其他海内外专利的主要发明人。中微公司的其他联合创始人、核心技术人员和重要的技术、工程人员,包括杜志游博士、倪图强博士、麦仕义博士、杨伟先生、李天笑先生等160多位各专业领域的专家,其中很多是在国际半导体设备产业耕耘数十年,为行业发展做出杰出贡献的资深技术和管理专家。